취득연도 학교명/ 전공/ 학위/ 비고
1973 ~ 1977 서울대학교 전자공학과 학사
1979 ~ 1981 미시간대학교 전기전자공학과 석사
1981 ~ 1986 미시간대학교 전기전자공학과 박사

년도 소속기관/ 직위/ 경력 및 연수내용
1986.03 ~ 1989.05 Washinton State University 조교수
1989.06 ~ 1994.03 서울대학교 전자공학과 조교수
1994.04 ~ 1999.03 서울대학교 전기공학부 부교수
1999.04 ~ 서울대학교 전기공학부 교수
1997.07 ~ 2002.06 서울대학교 마이크로시스템기술센터 센터장
1997.01 ~ Journal of Micromechanics and Microengineering 편집위원
1999.01 ~ Institute of Physics / Fellow
2000.12 ~ 차세대신기술개발사업단(CATS) 사업단장
2003.01 ~ IEEE / Senior Member
2003.01 ~ 2004.01 MEMS 2004 / Program committee
2003.09 ~ 2006.02 서울대학교 협동과정의용생체공학전공 주임
2004.01 ~ 2005.12 Transducers'2005 / Asian TPC Chair
2005.03 ~ 2006.02 서울대학교 반도체공동연구소 연구소장
2005.01 ~ 대한전자공학회 JSTS / Editor in Chief

본 연구실에서는 MEMS(초소형전자기계시스템)와 관련된 다양한 연구 분야에서 좋은 연구결과를 내고 있다.
연구 분야로는 MEMS 기술을 이용한 1) 차세대 RF 무선 모듈, 2) 관성센서, 3) 바이오센서 및 바이오엑츄에이터, 4) 마이크로전자빔시스템 제작 및 시뮬레이션, 5) 패키징 개발 등이 있다.
최종목표는 모든 기술을 융합하여 개발된 센서를 집적화한 후 RF로 신호를 전송하는 하나의 큰 유비쿼터스 센서네트워크 시스템을 제작하는 것이다.

RF-MEMS

IEEE 802.11a형 wireless LAN 및 휴대 인터넷용 RF IC에 집적화 될 수 있는 스위치, 안테나, 인덕터 등의 수동소자 개발

IMU(Inertial Measurement Unit)

차동공진형가속도계 및 자이로스코프 등의 항법용 센서 개발

BIO-MEMS

PDMS microfluidic system과 CMOS immunosensor를 집적화한 휴대용 질병진단시스템 개발 LOC을 위한 CE separator, TITP concentrator, PDMS microlens, electrochemical detector 개발 쥐의 심장세포와 폴리머와의 결합을 통한 micro-actuator 개발

E-beam lithography

Quantum dot을 이용한 전자빔 리소그래피용 simulator 개발 Millimeter size의 전자빔 리소그래피와 metrology tool 개발

Package

SOP 구현을 위한 LEGO-like Rivet WLP 및 3-D stacking 기술 개발