Ãëµæ¿¬µµ Çб³¸í/ Àü°ø/ ÇÐÀ§/ ºñ°í
1983 ¼­¿ï´ëÇб³/Àü±â°øÇÐ/Çлç
1985 ¼­¿ï´ëÇб³/Àü±â°øÇÐ/¼®»ç
1990 µ¿°æ´ëÇб³/Àü±â°øÇÐ/¹Ú»ç

³âµµ ¼Ò¼Ó±â°ü/ Á÷À§/ °æ·Â ¹× ¿¬¼ö³»¿ë
1990 ÀϺ» È÷´ÙÄ¡Á¦ÀÛ¼Ò Áß¾Ó¿¬±¸¼Ò/¿¬±¸¿ø
1992 ¼­¿ï´ëÇб³, Á¶±³¼ö
1996 ¼­¿ï´ëÇб³, ºÎ±³¼ö
2002 ¼­¿ï´ëÇб³, Á¤±³¼ö

º» ¿¬±¸½Ç¿¡¼­´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹Ì¼¼ÀüÀÚ±â°èÁ¦ÀÛ(MEMS: Micro Electro Mechanical System) ±â¼ú°ú ¹ÙÀÌ¿À ±â¼úÀ» À¯±âÀûÀ¸·Î À¶ÇÕÇÑ Bio_MEMS, Bio_NEMS¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î Çϸç, À̸¦ È­ÇÐ, »ý¹°ÇÐ, ÀÇÇÐ, ¾àÇÐ µî¿¡ ÀÀ¿ë°¡´ÉÇÑ ¹Ì¼¼ ½Ã½ºÅÛÀ» °³¹ßÇÑ´Ù.
Biomedical/Biological/Biochemical MEMS¸¦ ÅëĪÇÏ´Â Bio_MEMS±â¼úÀº ³ª³ë ¸®ÅÍ ÀÌÇÏÀÇ ±Ø¹Ì·®ÀÇ À¯Ã¼ Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇÏ°í, ÇϳªÀÇ ´ÜÀÏ ¼¼Æ÷·ÎºÎÅÍ ¿øÇÏ´Â Á¤º¸ µîÀ» ȹµæ ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ÷´Ü ¹ÙÀÌ¿À ¹× ³ª³ë ±â¼úÀ» °³¹ßÇϴµ¥ ÇÊ¿äÇÑ µµ±¸·Î¼­µµ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ½Ç¸®ÄÜ, À¯¸® ¹Ì¼¼ °¡°ø ¹× ±âŸ Àç·á ¹Ì¼¼ °¡°øÀ» ÅëÇÑ ÃʼÒÇü »ýÈ­ÇÐ ºÐ¼®¿ë ½Ã½ºÅÛ Á¦ÀÛ ±â¼ú, ¹Ì¼¼ ½Ã½ºÅÛÀÇ ½ÇÁ¦ ÀÇ·á ½Ã½ºÅÛ ÀÀ¿ë ¿¬±¸ ±â¼ú, ´ÜÀÏ ¼¼Æ÷ Á¶ÀÛ¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸, Micro-ELISA ½Ã½ºÅÛ ¼³°è ¹× ±¸ÇöÇÏ¿© °æÁ¦¼º°ú Á¶ÀÛ ÆíÀǼºÀ» Çâ»ó½ÃÅ°´Â ¿¬±¸¸¦ ÇÏ°í ÀÖ´Ù.


»ýÈ­ÇÐ ºÐ¼®¿ë ¼ÒÀÚ °³¹ß

(1) ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹Ì·¯ ¾î·¹À̸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÆéŸÀ̵å ÇÕ¼º

¸¶ÀÌÅ©·Î ¹Ì·¯ ¾î·¹À̸¦ È°¿ëÇÏ¿© ´Ü¹éÁú ĨÀ» Á¦ÀÛÇÏ°í À̸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¼ÒÇü ½Ã½ºÅÛ °³¹ß
»ýÈ­ÇÐ ¹°ÁúÀ» ÇϳªÀÇ Ä¨ À§¿¡ °í¹Ðµµ·Î °íÁ¤È­½ÃŲ ÇüÅÂÀÇ ´Ü¹éÁú ĨÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ºÐ¼®
»ý¹° È­ÇÐ ½ÇÇèÀ» À§ÇÑ ¸¶ÀÌÅ©·Î ÆÐÅÏ ¹× À¯Ã¼ ½Ã½ºÅÛ °³¹ß

(2) ´ÙÁß º´·Ä ¹ÝÀÀ Áú·® ºÐ¼® Ĩ

¸ð¼¼°ü ¾Ð·Â°ú Ç¥¸é Á¥À½¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ³ª³ë¸®ÅÍ Å©±âÀÇ À¯Ã¼ Á¶ÀÛ ±â¼ú °³¹ß
¼Ò¼ö¼ºÀÇ ºÒÈ­ À¯±â ¹Ú¸· ÆÐÅÍ´× ¹æ¹ýÀ» °³¹ß
Ĩ¿¡¼­ °¡º¯Àû ¹ÌÅ͸µÀÌ °¡´ÉÇÑ Ãø¸é ¼Ò¼ö¼º ¹ëºê ¾î·¹ÀÌ°¡ Çü¼ºµÈ YÀÚÇü ÀÎÁ§ÅÍ °í¾È
»ùÇÃÁÖÀÔ, ¹ÌÅ͸µ, À̵¿, ¹Í½Ì, ÅäÃâ µî°ú °°Àº ´Ù¾çÇÑ À¯Ã¼ ±â´ÉÀ» ÇϳªÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·Î Ĩ À§¿¡
ÁýÀûÈ­
Àü±â¿µµ¿ ¹æ¹ý ¹× ¸ÅÆ®¸¯½º º¸Á¶Çü ·¹ÀÌÀú Å»Âø/ÀÌ¿ÂÈ­ Áú·®±â ºÐ¼® ¹æ¹ý°ú °áÇÕ, ÇϳªÀÇ ¹Ì¼¼
»ýÈ­ÇÐ ºÐ¼® ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î Àû¿ë

(3) ºñµå ±â¹ÝÀÇ Áúº´ Áø´Ü¿ë ¸é¿ªÇÐÀû ½Ã½ºÅÛ

ÀÓÀÇÀÇ ´Ü¹éÁú È¥ÇÕ¹°¿¡¼­ ¸ñÇ¥ ´Ü¹éÁúÀ» ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î »Ì¾Æ³»°í, Àüó¸® ÀÌÈÄ Áú·® ºÐ¼®À» ÇÒ ¼ö
Àִ ĨÀ» Á¦ÀÛÇÏ¿© CÇü °£¿° Áø´Ü¿¡ ÀÀ¿ë
CÇü °£¿°Àº Ç÷¾× ³»¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â CÇü °£¿° ´Ü¹éÁúÀ» À¯¹«¸¦ ÆǺ°ÇÔÀ¸·Î½á Áø´Ü °¡´É
°³¹ßµÈ ºñµå±â¹Ý ¸¶ÀÌÅ©·ÎĨ°ú Á¦¾î ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇØ Áø´Ü ¼Ò¿ä ±â°£ÀÌ 2ÀÏ¿¡¼­ 1½Ã°£ À̳»·Î
´ÜÃàµÇ´Â °á°ú¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ¾úÀ½

(4) Àü±â ¿µµ¿ ¹× Áú·®ºÐ¼®¿ë ¸¶ÀÌÅ©·Î À¯Ã¼½Ã½ºÅÛ

Æú¸®¸Ó ¹× ½Ç¸®Ä« ±âÆÇÀ» »ç¿ëÇÏ¿© »ýÈ­ÇÐ ¹°ÁúÀÇ ºÐ¸® ¹× °ËÃâÀÌ °¡´ÉÇÑ Àü±â¿µµ¿Ä¨ °³¹ß
¼¿·ê·Î¿À½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ È¿¼Ò ¹ÝÀÀ±â ¹× ºñµå¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¹ÝÀÀ±â°¡ ÁýÀûµÈ Àü±â¿µµ¿Ä¨ °³¹ß
Àü±â¿µµ¿ ºÐ¸®¿¡ »ç¿ëµÇ´Â À¯·Î¿¡ Áú·® ºÐ¼®¿ë Àü±â ÀÌ¿ÂÈ­ ºÐ»ç±â¸¦ ºÎÂøÇÏ¿© ÇϳªÀÇ Ä¨¿¡¼­
»ýÈ­ÇÐ ¹°ÁúÀÇ ºÐ¸®¿Í Áú·® ºÐ¼®ÀÌ °¡´ÉÇÑ Ä¨ °³¹ß

»ýÀÇÇÐ ÀÀ¿ë ±â¼ú

(1) À¯¹æ¾Ï Áø´Ü¿ë ¸â½º ÇÁ·çºê

MEMS ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© À¯ÀüÀ² ÃøÁ¤¿ë °³¹æÇü ÇÁ·çºê¸¦ Á¦ÀÛ
MEMS ÇÁ·çºê¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ü¿Ü ÃøÁ¤ »Ó ¾Æ´Ï¶ó ü³» ÃøÁ¤À¸·Î »ýü Á¶Á÷ÀÇ À¯ÀüÀ² ÃøÁ¤
°¡´É¼ºÀ» º¸ÀÓ. ´çÀüÀÌ È¿¼ÒÀÇ ¹ß±¼°ú ºÐÀÚÁøÈ­¿¬±¸
RF ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¹°ÁúÀÇ À¯ÀüÀ² ÃøÁ¤. ÇÁ·çºê¿Í Á¢ÃË ÇÏ´Â ¹°ÁúÀÇ ¹Ý»çÆÄ °ª Â÷À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿©
¹°ÁúÀÇ À¯ÀüÀ² ÃøÁ¤

(2) ¾È¾Ð Á¶Àý¿ë ¸¶ÀÌÅ©·Î º§ºê

¸¶ÀÌÅ©·Î¸Ó½Ã´× ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ³ì³»Àå Ä¡·á¸¦ À§ÇÑ ¾È¾Ð Á¶Àý¿ë ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹ëºê¸¦ °³¹ßÇÔ
ÀüÀÚ·Â ±¸µ¿ ¹æ½ÄÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© À¯¾ÐÀÌ Á¶ÀýµÇ¸ç Á¶Àý °¡´É ¾Ð·ÂÀº 2400 Pa·Î ÃøÁ¤µÊ

¼¼Æ÷ »ý¹°ÇÐ ±â¼ú

(1) ¸¶ÀÌÅ©·Î Àü±ØÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ÀÔÀÚ Á¦¾î ±â¼ú

¸¶ÀÌÅ©·Î Àü±ØÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀÔÀÚÀÇ ¿îµ¿À» ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô Á¦¾îÇÏ°í ó¸®ÇÔ
¸¶ÀÌÅ©·Î Àü±Ø¿¡ Àΰ¡µÈ Àü±â Àü¾Ð ÀÇ Á¾·ù¿Í Å©±â (AC, DC ¹× ÆÞ½º Àü¾Ð) ¹× ÁÖÆļö, ±×¸®°í
Àü±ØÀÇ ÀûÀýÇÑ ¸ð¾ç°ú Å©±â µîÀ» °í·ÁÇÏ¿© ´ë»ó ÀÔÀÚ (»ý¹° ¼¼Æ÷³ª Àΰø Á¦Á¶µÈ ÀÔÀÚµé)
ÀÇ ¿îµ¿À» ¿øÇÏ´Â ÇüÅ·ΠÁ¦¾î
ÀÔÀÚÀÇ ÇüÅ ¹× Á¾·ù¿¡ µû¶ó ºÐ¸®ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ÀÔÀÚÀÇ µ¿ÀÛ Æ¯¼ºÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀÔÀÚÀÇ
Ư¼º º¯È­¸¦ °¨Áö
¸¶ÀÌÅ©·Î À¯Ã¼ ¼ÒÀÚ¿Í ¿¬°áÇÏ¿©, ÀÔÀÚÀÇ ºÐ¸® ºÐ¼® ÃëÇÕÀ» ÀÏ·ÃÀ¸·Î ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â
lab-on-a-chipÀ» ±¸Çö

(2) ¼¼Æ÷ Á¶ÀÛ ±â¼ú

»ýÈ­ÇÐ, »ýÀÇÇÐ ¿¬±¸°¡ ¼¼Æ÷ ±â¹Ý¿¡¼­ ¸¹ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö¹Ç·Î ¼¼Æ÷ Á¶ÀÛ¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸°¡ ¿ä±¸µÊ
¸¶ÀÌÅ©·Î ¸Ó½Ã´× ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÇϳªÀÇ ¼¼Æ÷¸¦ Á¶ÀÛ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú °³¹ß
Àü±ØÀ» ÀÌ¿ëÇÑ À¯ÀüÀü±â¿µµ¿ ¹æ¹ýÀ¸·Î ¼¼Æ÷ À¶ÇÕ, ºÐ¸® µîÀÇ Á¶ÀÛ ±â¼ú °³¹ß

³ª³ë¹ÙÀÌ¿À ¼ÒÀÚ ±â¼ú

(1) ¸¶ÀÌÅ©·Î Àü±ØÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ÀÔÀÚ Á¦¾î ±â¼ú

¸¶ÀÌÅ©·Î Àü±ØÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀÔÀÚÀÇ ¿îµ¿À» ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô Á¦¾îÇÏ°í ó¸®ÇÔ
¸¶ÀÌÅ©·Î Àü±Ø¿¡ Àΰ¡µÈ Àü±â Àü¾Ð ÀÇ Á¾·ù¿Í Å©±â (AC, DC ¹× ÆÞ½º Àü¾Ð) ¹× ÁÖÆļö, ±×¸®°í
Àü±ØÀÇ ÀûÀýÇÑ ¸ð¾ç°ú Å©±â µîÀ» °í·ÁÇÏ¿© ´ë»ó ÀÔÀÚ (»ý¹° ¼¼Æ÷³ª Àΰø Á¦Á¶µÈ ÀÔÀÚµé)ÀÇ
¿îµ¿À» ¿øÇÏ´Â ÇüÅ·ΠÁ¦¾î
ÀÔÀÚÀÇ ÇüÅ ¹× Á¾·ù¿¡ µû¶ó ºÐ¸®ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ÀÔÀÚÀÇ µ¿ÀÛ Æ¯¼ºÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀÔÀÚÀÇ
Ư¼º º¯È­¸¦ °¨Áö
¸¶ÀÌÅ©·Î À¯Ã¼ ¼ÒÀÚ¿Í ¿¬°áÇÏ¿©, ÀÔÀÚÀÇ ºÐ¸® ºÐ¼® ÃëÇÕÀ» ÀÏ·ÃÀ¸·Î ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â
lab-on-a-chipÀ» ±¸Çö

(2) ¼¼Æ÷ Á¶ÀÛ ±â¼ú

»ýÈ­ÇÐ, »ýÀÇÇÐ ¿¬±¸°¡ ¼¼Æ÷ ±â¹Ý¿¡¼­ ¸¹ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö¹Ç·Î ¼¼Æ÷ Á¶ÀÛ¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸°¡ ¿ä±¸µÊ
¸¶ÀÌÅ©·Î ¸Ó½Ã´× ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÇϳªÀÇ ¼¼Æ÷¸¦ Á¶ÀÛ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú °³¹ß
Àü±ØÀ» ÀÌ¿ëÇÑ À¯ÀüÀü±â¿µµ¿ ¹æ¹ýÀ¸·Î ¼¼Æ÷ À¶ÇÕ, ºÐ¸® µîÀÇ Á¶ÀÛ ±â¼ú °³¹ß